J4 ›› 2015, Vol. 37 ›› Issue (06): 1053-1057.
刘蓉容1,池雅庆1,2,何益百1,窦强1
LIU Rongrong1,CHI Yaqing1,2,HE Yibai1,DOU Qiang1
摘要:
使用TCAD模拟工具分析了纳米工艺下阱接触面积对PMOS SET脉冲宽度的影响。结果表明,纳米工艺下,当存在脉冲窄化效应时,增加阱接触面积会导致SET脉冲变宽,这与传统的通过增加阱接触面积可抑制SET脉冲的观点正好相反。同时,还分析了不同入射粒子LET值以及晶体管间距条件对该现象的作用趋势。