计算机工程与科学 ›› 2023, Vol. 45 ›› Issue (10): 1806-1813.
赵玥,肖梦燕,邱宝军,罗军,王小强,罗道军
ZHAO Yue,XIAO Meng-yan,QIU Bao-jun,LUO Jun,WANG Xiao-qiang,LUO Dao-jun
摘要: 集成电路是电子产品的重要组成部分,其质量控制和故障分析是电子产品能否长期运行的前提。声学扫描显微镜SAM作为一种无损缺陷检测手段,在集成电路成像检测、内部缺陷识别方面获得了广泛应用。针对声扫图像缺陷检测的智能化需求,以及对检测的实时性和正确性要求,研发了基于机器视觉的集成电路声扫图像缺陷检测软件,提供了图像处理和图像检测一体化功能。该软件的算法框架结合了深度学习技术、OpenCV 传统图像处理技术和JavaScript 界面设计技术,可以管理各种类型的集成电路数据,并能对声扫图像进行分析处理与缺陷判定。